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VAD Instrument ha elegido los encóderes ópticos UHV de Renishaw para sus plataformas de movimiento

Enero de 2021

La tecnología de vacío se emplea en muchos procesos de fabricación de alta precisión. Las aplicaciones más habituales son la inspección y unión de obleas semiconductoras, fotolitografía y deposición de películas delgadas.

Las plataformas de movimiento son parte integral de estos procedimientos complejos, por lo que deben de ser compatibles con entornos de vacío.

Los encóderes ópticos UHV TONiC™ de Renishaw están diseñados expresamente para compartimentos de vacío alto y ultra-alto, y cumplen los estrictos requisitos de FPD y equipos de procesamiento de semiconductores. VAD Instrument, con sede en Corea del Sur, fabrica una amplia gama de plataformas de movimiento de precisión para semiconductores, FPD y aplicaciones electrónicas.

VAD ha elegido el encóder UHV TONiC y el encóder láser de fibra óptica RLE de Renishaw para su última gama de plataformas compatibles con vacío, con rendimiento de control de movimiento mejorado.

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