Interferómetro diferencial

El cabezal detector del interferómetro diferencial RLD10-X3-DI permite realizar mediciones del desplazamiento relativo entre un espejo de referencia fijo y otro móvil de medición. Especialmente apropiado para entornos controlados de vacío, el diseño del cabezal detector RLD10-X3-DI permite fijarlo a la pared exterior de una cámara de procesamiento con tres sencillas clavijas de sujeción. No es necesario entrar a la cámara para alinear el cabezal detector, ya que el alineador integral del haz permite ajustar independientemente el ladeo y el cabeceo del haz de referencia y el de medición, mientras que el diseño del sistema de montaje permite retirar y volver a poner el cabezal con una alteración mínima de la alineación del sistema.

Especificaciones

Datos obtenidos en un sistema con cabezal RLD10-X3-DI con unidad láser RLU20

Características y ventajas

• Metrología excepcional
  Estabilidad de frecuencia ppb y error cíclico ultra bajo, que permite unas resoluciones de salida de 38,6 pm.
• Configuración diferencial
  Mide la posición relativa de la plataforma frente a la columna, o de la pieza de trabajo frente a la herramienta, por tanto, elimina errores de modo habituales, como el desplazamiento del flanco de la cámara asociado a las fluctuaciones ambientales.
• Alineación rápida
  Alineación sencilla desde el exterior de la cámara de procesamiento mediante cuatro alineadores del haz integrados (±1° de ajuste del ladeo y el cabeceo del haz de referencia y el de medición) para compensar las tolerancias de montaje del espejo y la cámara.