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Interferómetro de espejo plano RLD10

Interferómetros de espejo plano adecuadas para aplicaciones de plataforma XY.

Los cabezales detectores RLD10 alojan las ópticas de interferómetro, un sistema exclusivo de detección sinusoidal multicanal, el obturador del láser y el alineador integral del láser. Puede elegir entre los dos modelos, 0° y 90°, del cabezal detector RLD10.

Características y ventajas

  • Soluciones de doble eje: sistemas de espejo plano de plano doble, la solución perfecta para aplicaciones de plataforma XY.
  • Alta resolución: los sistemas de espejo plano también pueden utilizarse en aplicaciones que requieren una resolución mayor, comparados con los sistemas de retrorreflector.
  • Entornos sensibles: también dispone de opciones de bajo consumo para aplicaciones que precisan una disipación de potencia menor que la especificada. Para aplicaciones que precisan una disipación de potencia menor que la especificada de <2 W para el estándar RLD10.
Cabezales detectores RLD con espejos

Especificaciones

Recorrido del eje0 m a 1 m
Resolución (configurado con RLU)

Cuadratura analógica= λ/4 (158 nm)
Cuadratura digital= 10 nm
Resolución de RPI20= 38,6 pm

Error de no-linealidad del sistema* (SDE)

*no incluye la interfaz

<±2,5 nm por debajo de 50 mm/seg. con >70% de intensidad de señal
<±7,5 nm a 1 m/seg. con >50% de intensidad de señal
Velocidad máximaHasta 1 m/seg


En aplicaciones sin vacío, se requiere algún tipo de compensación de índice de refracción para mantener la precisión en condiciones ambientales fluctuantes. Renishaw dispone de una unidad de compensación de cuadratura en tiempo real RCU10 para compensar estas variaciones.

Es posible obtener resoluciones de 38,6 picómetros integrando una interfaz paralela RPI20 en el sistema RLE. Esta interfaz acepta señales analógicas de diferencial con 1 Vpp de seno / coseno y genera una salida en formato paralelo. Para más información sobre nuestros accesorios, consulte unidad de compensación RCU10 e interfaces de encóder láser.

Información sobre el producto

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