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Encóderes ópticos de Ultra Alto Vacío (UHV)

Elementos

  • La gama ha sido fabricada expresamente con materiales compatibles de vacío y adhesivos con niveles reducidos de emisión de gases.
  • RGA limpio
  • Temperatura de calentamiento a 120 °C
  • El sistema óptico abierto sin contacto facilita un funcionamiento fiable sin fricción ni desgaste
  • Espacios no ventilados
  • Gama de reglas lineales y rotatorias de alta precisión

En muchos procesos industriales, la presencia de cantidades significativas de aire u otros gases puede ser perjudicial para el acabado del producto, por consiguiente, deben realizarse en un entorno aislado con unos niveles de presión residual muy rigurosos. Si estos procesos incluyen control de moción, se necesitan sistemas de encóder compatibles con vacío.

Todos los productos de la gama de encóderes de Ultra Alto Vacío (UHV) de Renishaw están diseñados para una gran variedad de aplicaciones científicas, semiconductores y otras aplicaciones industriales avanzadas, con presiones de vacío hasta 10-10 Torr. Los principios básicos de funcionamiento son los mismos que en nuestros productos para atmósfera estándar equivalentes, pero los modelos UHV están diseñados para eliminar espacios no ventilados y fabricados específicamente con materiales y adhesivos compatibles con vacío. La idoneidad de los productos preparados para entornos de UHV se determina mediante un ensayo individual interno especializado, que incluye pruebas de espectro de Análisis de gas residual (RGA) (disponible por encargo).

Logotipo de compatibilidad con UHV

La gama incluye versiones de cabeza lectora absoluta RESOLUTE™ e incremental TONiC™ y RGH25F, además de una diversidad de reglas lineales y rotatorias, que proporcionan un rendimiento superior de gran fiabilidad.

Encóderes absolutos UHV

RESOLUTE UHV es el primer encóder óptico absoluto real para entornos UHV, y aplica los mismos principios de funcionamiento que el resto de la gama RESOLUTE. Por consiguiente, el encóder proporciona un rendimiento de paso de precisión y una completa gama de protocolos serie, combinado con altas tolerancias de reglaje y seguridad de construcción. RESOLUTE determina la posición absoluta inmediatamente después de conectarse, por lo que se evitan movimientos incontrolados y facilita un completo control de los ejes, sin necesidad de retornos a referencia o rutinas de movimientos de ‘agitación o inicio'. Con una resolución de 1 nm, un error SDE de ±40 nm y una interferencia RMS <10 nm, RESOLUTE supone también una mejora de rendimiento significativa.

Encóderes incrementales UHV

Las cabezas lectoras de la gama incluyen condicionamiento de señal dinámica, con control de ganancia automático (AGC), que genera señales sólidas y fiables continuadas en la máquina, y el control de compensación automático (AOC), con fidelidad de señales mejorada. El AOC y la baja interferencia posicional del encóder tienen, además, la ventaja de reducir la onda de velocidad en sistemas de transmisión directa y, por tanto, reducen la acumulación de calor en los motores en la cámara de vacío.

La alta precisión está garantizada, gracias al estándar de medición lineal, que incluye opciones de reglas de cinta autoadhesiva, acero inoxidable y lineales ZeroMet. Las opciones de encóder angular incluyen los anillos de bajo perfil RESR / RESM y los de precisión ultra-alta REXM, con una precisión instalada garantizada superior a ±1 arcosegundo.